Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Principes et appareillages - Portail du Laboratoire de Recherche des Monuments Historiques

0 avis

Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Principes et appareillages

Type de document : Archive ouverte | Techniques de l'Ingénieur

Résumé: International audience. Cet article est consacré à l’analyse des matériaux par spectrométrie de masse d’ions secondaires. Il présente d’abord les principes de la méthode, basée sur la mesure par spectrométrie de masse de la composition de la matière pulvérisée par un faisceau d’ions, d’amas ionisés ou de particules d’énergie modérée (inférieure à 20 keV). Sont décrits ensuite les différents appareillages avec plusieurs types de sources d’ions primaires et les principaux types de spectromètres de masse : par déflection des ions secondaires dans un secteur magnétique, par tri de ces ions dans un quadripôle ou par mesure de leur temps de vol.

Citer la référence: Darque-Ceretti, Evelyne , Aucouturier, Marc , Lehuédé, Patrice, Spectrométrie de masse d'ions secondaires : SIMS et ToF-SIMS - Principes et appareillages, CCSD,